硅棒的使用方法:(1)硅棒在空 gas中加热后,表面形成一层致密的氧化硅膜,成为抗氧化的保护膜,从而延长其寿命。近年来,已经开发了各种涂层来防止碳化硅棒的开裂,碳化硅棒在具有各种气体的熔炉中使用。
(2)施加到碳化硅棒上的电流越大,碳化硅棒的表面温度越高。建议使用最小表面负载密度(功率)。请注意,碳化硅棒冷端记录的数值为空气体中1000℃的电流和电压,可能与实际使用情况不符。通常,碳化硅棒的表面功率由炉温和碳化硅棒的表面温度之间的关系获得。建议使用碳化硅棒极限密度的1/2-1/3的表面功率(W/cm2)。(3)碳化硅棒连续使用时,希望缓慢增加电阻以维持寿命。(4)碳化硅棒尽量并联。如果碳化硅棒的电阻值不同,串联的高电阻碳化硅棒的负载会集中,导致某根碳化硅棒的电阻* *增大,使用寿命缩短。(5)碳化硅棒的温度分布特性,新运时的检验规格在有效加热长度内δ 60℃以内,视为合格。当然,温度分布会随着其老化而增加,最终可能达到200℃。具体的温度分布变化也因炉内气氛和操作条件的不同而不同。
本文标题:硅碳棒(硅碳棒电炉)
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